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一種全方位吹淋風(fēng)淋室
發(fā)布時(shí)間:2021-04-30 14:28:35   瀏覽:3421

一種全方位吹淋風(fēng)淋室

技術(shù)領(lǐng)域:

本發(fā)明屬于建筑技術(shù)領(lǐng)域,適用于凈化車間的潔凈設(shè)備,具體涉及一種全方位吹淋風(fēng)淋室。

背景技術(shù):

隨著大規(guī)模集成電路(芯片)超小納米化,保障凈化車間(潔凈室)潔凈度的穩(wěn)定更加重要,這直接影響芯片生產(chǎn)的成品率和產(chǎn)品的綜合性能。

人的流動(dòng)是凈化車間最大的污染源和不穩(wěn)定因素,所以減輕人體對(duì)凈化車間的污染尤為重要。在進(jìn)入潔凈室生產(chǎn)車間中,需要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋帶走人體上附著的顆粒物,風(fēng)淋室是一種通用性較強(qiáng)的局部?jī)艋O(shè)備,安裝于潔凈室與非潔凈室之間。當(dāng)人與貨物要進(jìn)入潔凈區(qū)時(shí)需經(jīng)風(fēng)淋室吹淋,其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃,能有效的阻斷或減少塵源進(jìn)入潔凈區(qū)。風(fēng)淋室的前后兩道門(mén)為電子互鎖,又可起到氣閘的作用,阻止未凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。目前行業(yè)中的風(fēng)淋室均采用固定風(fēng)嘴吹淋方式,會(huì)存在吹淋死角。

發(fā)明內(nèi)容:

本發(fā)明旨在解決上述缺陷,提供了一種全方位吹淋風(fēng)淋室。

為了克服背景技術(shù)中存在的缺陷,本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種全方位吹淋風(fēng)淋室,包括帶互鎖閉門(mén)器的潔凈門(mén)、風(fēng)淋室內(nèi)隔板、風(fēng)淋室外墻彩鋼板、靜壓箱上隔板、導(dǎo)軌、電機(jī)、高效過(guò)濾器、軟接風(fēng)管、風(fēng)機(jī)、初效、中效過(guò)濾器、萬(wàn)向噴淋嘴、圓形移動(dòng)導(dǎo)軌、旋轉(zhuǎn)支架和控制面板,所述風(fēng)淋室外墻彩鋼板通過(guò)膨脹螺絲固定于地面,所述帶互鎖閉門(mén)器的潔凈門(mén)與風(fēng)淋室外墻彩鋼板通過(guò)自攻螺絲連接,所述風(fēng)淋室內(nèi)隔板通過(guò)暗藏式鉸鏈和暗藏式按壓鎖安裝,固定在風(fēng)淋室外墻彩鋼板上,所述靜壓箱上隔板通過(guò)自攻螺絲固定在風(fēng)淋室內(nèi)隔板和風(fēng)淋室外墻彩鋼板上,所述電機(jī)通過(guò)螺絲固定在風(fēng)淋室外墻彩鋼板上,所述導(dǎo)軌通過(guò)螺絲固定在風(fēng)淋室外墻彩鋼板上,所述風(fēng)機(jī)通過(guò)膨脹螺絲固定于地面,所述軟接風(fēng)管通過(guò)螺栓固定在風(fēng)機(jī)出風(fēng)口處,所述高效過(guò)濾器通過(guò)螺絲固定于靜壓箱上隔板上,所述初效、中效過(guò)濾器通過(guò)螺絲固定于風(fēng)淋室內(nèi)隔板上,所述萬(wàn)向噴淋嘴通過(guò)螺絲固定于風(fēng)淋室內(nèi)隔板上,所述圓形移動(dòng)導(dǎo)軌配合固定于導(dǎo)軌上,所述旋轉(zhuǎn)支架配合固定于導(dǎo)軌和電機(jī)軸上,所述控制面板通過(guò)螺絲固定于風(fēng)淋室內(nèi)隔板上。

優(yōu)選的,上述萬(wàn)向噴淋嘴可移動(dòng)。使用移動(dòng)風(fēng)嘴均流吹淋,保證風(fēng)淋室內(nèi)無(wú)死角。

優(yōu)選的,上述連接件如鎖具,鉸鏈,螺絲等采用暗藏式連接。有利于保證表面的平整度,不積塵。

本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明萬(wàn)向噴淋嘴可按照軌道移動(dòng),風(fēng)淋室內(nèi)部不存在死角和氣流不均勻情況,風(fēng)淋室內(nèi)部無(wú)凸臺(tái),不積塵,不產(chǎn)塵,無(wú)自攻螺絲等影響潔凈度的部分,安裝完成后,保證了氣密性,防止泄露,可以應(yīng)用于微電子、光電、半導(dǎo)體、醫(yī)藥、食品、化工、航空、汽車、印刷、實(shí)驗(yàn)室等各個(gè)無(wú)塵車間與非無(wú)塵車間、階梯潔凈度車間中,用于從低潔凈度房間進(jìn)入高潔凈度房間過(guò)程中除去人各部位大于0.3微米粉塵顆粒,以免進(jìn)入潔凈房后帶去污染,同時(shí)也起到氣流緩沖作用,因?yàn)樵陂_(kāi)門(mén)的過(guò)程中,附帶有空氣的流動(dòng),風(fēng)淋室很好的把氣流流動(dòng)停于風(fēng)淋室內(nèi)部,很好的避免了空氣流動(dòng)所帶來(lái)的空氣污染。

附圖說(shuō)明:

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本發(fā)明的俯視圖。

圖2為本發(fā)明的主視圖。

圖3為內(nèi)隔板的主視圖。

圖中:1帶互鎖閉門(mén)器的潔凈門(mén)、2風(fēng)淋室內(nèi)隔板、3風(fēng)淋室外墻彩鋼板、4靜壓箱上隔板、5導(dǎo)軌、6電機(jī)、7高效過(guò)濾器、8軟接風(fēng)管、9風(fēng)機(jī)、10初效、中效過(guò)濾器、11萬(wàn)向噴淋嘴、12圓形移動(dòng)導(dǎo)軌、13旋轉(zhuǎn)支架、14控制面板。

具體實(shí)施方式:

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述,以使本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解,從而對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。

如圖1,2,3所示,風(fēng)淋室外墻彩鋼板3通過(guò)膨脹螺絲固定于地面,帶互鎖閉門(mén)器的潔凈門(mén)1與風(fēng)淋室外墻彩鋼板3通過(guò)自攻螺絲連接,風(fēng)淋室內(nèi)隔板2通過(guò)暗藏式鉸鏈和暗藏式按壓鎖安裝,固定在風(fēng)淋室外墻彩鋼板3上,靜壓箱上隔板4通過(guò)自攻螺絲固定在風(fēng)淋室內(nèi)隔板2和風(fēng)淋室外墻彩鋼板3上,電機(jī)6通過(guò)螺絲固定在風(fēng)淋室外墻彩鋼板3上,導(dǎo)軌5通過(guò)螺絲固定在風(fēng)淋室外墻彩鋼板3上,風(fēng)機(jī)9通過(guò)膨脹螺絲固定于地面,軟接風(fēng)管8通過(guò)螺栓固定在風(fēng)機(jī)9出風(fēng)口處,高效過(guò)濾器7通過(guò)螺絲固定于靜壓箱上隔板4上,初效、中效過(guò)濾器10通過(guò)螺絲固定于風(fēng)淋室內(nèi)隔板2上,萬(wàn)向噴淋嘴11通過(guò)螺絲固定于風(fēng)淋室內(nèi)隔板2上,圓形移動(dòng)導(dǎo)軌12配合固定于導(dǎo)軌5上,旋轉(zhuǎn)支架13配合固定于導(dǎo)軌5和電機(jī)6軸上,,控制面板14通過(guò)螺絲固定于風(fēng)淋室內(nèi)隔板2上。

工作原理:帶互鎖閉門(mén)器的潔凈門(mén),用于進(jìn)出使用,單通,即只能由非潔凈區(qū)向潔凈區(qū)進(jìn)入,反向無(wú)法通行。只有在極特殊情況下人員才能反向出入。人員在進(jìn)入風(fēng)淋室后,帶互鎖閉門(mén)器的潔凈門(mén)自動(dòng)關(guān)閉,吹淋等待時(shí)間過(guò)了以后,另一扇門(mén)才能開(kāi)啟。風(fēng)淋室內(nèi)隔板,單側(cè)吹淋為1套,雙側(cè)吹淋為2套。安裝移動(dòng)式導(dǎo)軌,吹淋過(guò)程中電機(jī)帶動(dòng)萬(wàn)向噴淋嘴沿圓形移動(dòng)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng),風(fēng)淋室外墻彩鋼板主要功能是將風(fēng)淋室隔成單獨(dú)的空間,并且提供氣密環(huán)境,靜壓箱上隔板經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾網(wǎng),初效、中效過(guò)濾網(wǎng)過(guò)濾的潔凈風(fēng)與其他未過(guò)濾的空氣隔離。電機(jī)主要功能是為萬(wàn)向噴淋運(yùn)動(dòng)提供動(dòng)力,風(fēng)淋室內(nèi)隔板內(nèi)隔板固定在外墻板上,用暗藏式鉸鏈和暗藏式按壓鎖安裝,用于安裝萬(wàn)向噴淋嘴、導(dǎo)軌、電機(jī)。高效過(guò)濾器主要過(guò)濾空氣中的粉塵、顆粒,微生物。軟接風(fēng)管連接風(fēng)機(jī)和高效過(guò)濾器。風(fēng)機(jī)作用為使風(fēng)淋室形成循環(huán)風(fēng),使各個(gè)部分達(dá)到應(yīng)有的壓差。初效、中效過(guò)濾器,用于捕集1-55μm 的顆?;覊m及各種懸浮物,對(duì)高效過(guò)濾器起一定的保護(hù)作用。萬(wàn)向噴淋嘴經(jīng)過(guò)過(guò)濾的潔凈風(fēng)通過(guò)萬(wàn)向噴淋嘴增壓、均流后吹出,對(duì)進(jìn)入風(fēng)淋室的人員進(jìn)行吹淋,消除人體上附著的顆粒物。圓形移動(dòng)導(dǎo)軌針對(duì)雙側(cè)吹和頂吹都可使用,設(shè)置為圓形軌跡。旋轉(zhuǎn)支架用于帶動(dòng)噴淋嘴旋轉(zhuǎn),控制面板用于控制電源、燈具、互鎖、吹淋時(shí)間、導(dǎo)軌啟停等動(dòng)作。

由互鎖系統(tǒng)控制電插鎖,將靠近潔凈室內(nèi)側(cè)的門(mén)設(shè)置為常閉,靠近外側(cè)非潔凈區(qū)的門(mén)常開(kāi),當(dāng)人員由非潔凈區(qū)進(jìn)入風(fēng)淋室時(shí),門(mén)自動(dòng)關(guān)閉,風(fēng)機(jī)開(kāi)始工作,抽取風(fēng)淋室內(nèi)部的非潔凈風(fēng)經(jīng)過(guò)初效、中效過(guò)濾器以及高效過(guò)濾器過(guò)濾后變?yōu)闈崈麸L(fēng),通過(guò)萬(wàn)向噴淋嘴吹出,帶走人體上的粉塵、顆粒,微生物,吹淋時(shí)間完成后,靠近潔凈區(qū)的潔凈門(mén)打開(kāi),靠近非潔凈區(qū)門(mén)關(guān)閉,人員走出后,靠近潔凈區(qū)潔凈門(mén)關(guān)閉,設(shè)備恢復(fù)到初始狀態(tài),即將靠近潔凈室內(nèi)側(cè)的門(mén)常閉,靠近外側(cè)非潔凈區(qū)的門(mén)常開(kāi),上述設(shè)備全自動(dòng)控制,電子互鎖,吹淋時(shí)雙門(mén)鎖閉,紅外線感應(yīng)自動(dòng)吹淋,帶視窗潔凈門(mén)自動(dòng)閉門(mén), LED顯示及設(shè)置吹淋時(shí)間,吹淋時(shí)間可調(diào)。

以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例,并非因此限制本發(fā)明的專利范圍,凡是利用本發(fā)明說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換,或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域,均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。

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